尾氣回收塔

尾氣回收塔：針對現有技術中存在的尾氣回收裝置回收氫氣的純度較低的不足，提供一種多晶硅尾氣回收方法及裝置，采用該方法和裝置能夠提高回收 氫氣的純度，并能合理利用多晶硅生產尾氣回收過程中的冷量，降低尾氣回收能耗。